ASML：荷蘭公司，是目前全球最大的光刻機生產商，占據了市場份額的近80%。
Nikon：日本公司，是另一個大型的光刻機制造商，占據了全球市場份額的一部分。
Canon：日本公司，也是光刻機制造商之一，其光刻機主要用于生產LCD顯示器和光纖通訊器件等。
Samsung：韓國公司，也在光刻機制造領域有所涉及，其光刻機主要用于生產DRAM和NAND閃存器件等。
Intel：美國公司，也在光刻機制造領域有所涉及，其光刻機主要用于生產微處理器和存儲器件等。
除此之外，還有一些其他的光刻機制造商，如中國的微電子集團、荷蘭的光影集團等。
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