目前有幾家國產光刻機企業，以下是其中一些主要的國產光刻機企業：
中微半導體設備（微電子集團）：是中國大陸唯一的光刻機制造商，已經推出了一系列的光刻機產品，包括NAURA 45、NAURA 60等，目前在國內市場占有一定的份額。
貝格光刻：是一家由前ASML員工創辦的中國光刻機公司，其光刻機產品主要面向LCD顯示器和晶圓制造等領域。
光影集團：是一家總部位于荷蘭的公司，在中國設有研發和生產基地。光影集團主要生產高端光刻機和光刻機配件等產品。
星輝光學：是一家位于江蘇蘇州的光學公司，其光刻機產品主要面向半導體和光通信等領域。 以上是目前國內一些較為知名的光刻機企業，隨著中國半導體產業的快速發展，國內的光刻機企業也在加快發展步伐，并在逐步提高技術水平和市場份額。
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